hotti: Physik: Schwing deine.....

Beitrag lesen

hi,

Wie läuft sowas ab? :/ komme einfach auf keinen grünen Zweig... </heul>

Die Plasmaätzer, mit denen ich vor knapp 30 Jahren gearbeitet habe sahen so aus:

Quarzglas-Zylinder ca. 30cm x 40cm, umwickelt mit einer Spule oder umgeben von Plattenelektroden.

Das Gas war Luft oder Sauerstoff (oder andere Ätzgase), bleiben wir bei Luft: Der Zylinder wurde abgepumpt (Drehschieberpumpe) und bei niedrigem Druck wurde eine gleichmäßige Strömung eingestellt. Dann wurde das Plasma gezündet, HF ca 13MHz, ca 1kW.

Mit Spule und kapazitiver Beschaltung (bei Plattenelektroden umgekehrt) ergab sich ein Serienschwingkreis wobei durch die Resonanzüberhöhung die Zündspannung erreicht wurde. Ein Luftplasma leuchtet schön rosa, das kennt jeder von einer Glimmlampe. Nach dem Zünden einer solchen Niederdruck-Gasentladung sinkt die Spannung und bleibt, je nach Druck und Gasmenge konstant.

Wir hatten verschiedene solcher Kisten rumstehen, andere Ätzgase mit Flour ergeben auch andere Spektren, CF4 leuchtet hellblau ;)

Das Ätzen erledigten dann die Radikale, mit speziellen Reaktorgeometrien werden auch Ionen aktiv (reaktives Ionenätzen). Flour-Radikale ätzen Silizium... Mit reinem Sauerstoffplasma (leuchtet stahlblau) wurde der Fotolack von den eingestellten Siliziumscheiben entfernt. Bei einem Unfall mit dem Gas Bortrichlorid wäre ich beinahe ums Leben gekommen und das Berühren HF-führender Teile ist bei solchen Leistungen auch lebensgefährlich (nur nebenbei).

Hotti